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      近日，上海微系統(tǒng)所傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室采用微納加工技術(shù)制備了一種基于氮空位（NV）色心的微型光電一體化集成鉆石量子磁傳感器。相關(guān)研究成果于2022年5月9日以“Amicrofabricatedfiber-integrated diamond magnetometer with ensemble nitrogen-vacancy centers”為題發(fā)表在當(dāng)期的Applied Physics Letters上。 

    鉆石，不僅可以作為珠寶裝飾品，更是具有極高研究價(jià)值的新型量子材料。氮空位缺陷——NV色心，是鉆石晶體結(jié)構(gòu)中最常見的點(diǎn)缺陷，由氮原子取代碳原子和相鄰空穴而形成，利用其在磁場(chǎng)中的量子順磁共振效應(yīng)及熒光輻射特性可以進(jìn)行精密磁測(cè)量。NV色心在常溫下也具有穩(wěn)定的量子態(tài)，可以在非制冷的室溫下工作。同時(shí)，鉆石量子磁傳感器以其高空間分辨率、高靈敏度、高生物兼容性等技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在近場(chǎng)微觀磁共振、磁異常探測(cè)、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。

     小型化、集成化、便攜化是鉆石量子傳感器取得實(shí)際應(yīng)用的重要條件。該團(tuán)隊(duì)基于晶圓級(jí)MEMS工藝平臺(tái)，利用標(biāo)準(zhǔn)微納加工技術(shù)，制備出鉆石量子磁傳感器的核心——鉆石芯片。芯片內(nèi)部集成了微波輻射結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了原位微波量子態(tài)操控。采用金屬熱壓鍵合技術(shù)實(shí)現(xiàn)了鉆石單晶與硅晶圓的異質(zhì)集成，確保了機(jī)械穩(wěn)定性。鉆石芯片耦合帶有梯度變化折射率透鏡的光纖模塊，實(shí)現(xiàn)了“光進(jìn)光出”的工作模式，大大縮小了探頭尺寸，實(shí)現(xiàn)了鉆石磁強(qiáng)計(jì)探頭的高集成度。并進(jìn)一步指出，采用雙頻共振技術(shù)可以同時(shí)進(jìn)行磁場(chǎng)和溫度場(chǎng)的同步實(shí)時(shí)測(cè)量，不僅通過溫漂抑制提高了磁場(chǎng)測(cè)量的信噪比，還確保了傳感器的溫度穩(wěn)定性。      

     該團(tuán)隊(duì)提出的制備工藝可以在晶圓級(jí)進(jìn)行拓展，具有批量化制備的潛力，為建立高一致性、高靈敏度的可穿戴傳感器陣列提供了可能性。目前鉆石量子磁傳感器整體尺寸僅有20mm × 15mm × 1.5mm，靈敏度達(dá)到2.03nT/√Hz。同時(shí)，該鉆石磁傳感器可以對(duì)小于0.5mm（甚至更小）的目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行近距離測(cè)量，具有在心磁、腦磁等弱磁信號(hào)探測(cè)場(chǎng)景的應(yīng)用潛力，為后續(xù)實(shí)用化的可穿戴生物磁傳感器提供了良好的研究基礎(chǔ)。

      上海雋思專業(yè)提供晶圓級(jí)MEMS工藝平臺(tái)儀器HMDS烘箱，高精度恒溫加熱臺(tái)，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，氮?dú)夂嫦洌偌?jí)潔凈烘箱，真空無氧烤箱，等離子清洗機(jī)，RTP快速退火爐，桌上型高低溫試驗(yàn)箱，高低溫沖擊試驗(yàn)箱，超低溫試驗(yàn)箱等設(shè)備。